JEOL JSM-7610FPlus 掃描電子顯微鏡采用半浸沒式物鏡和High Power Optics照明系統(tǒng)，提供穩(wěn)定的高空間分辨率觀察和分析,。此外還具備利用GENTLEBEAMTM模式進行低加速電壓觀察,、通過r-filter分選信號等滿足各種需求的高擴展性。浸沒式肖特基場發(fā)射電子槍,，可以獲得10 倍于傳統(tǒng)肖特基場發(fā)射電子槍(FEG)的探針電流,，光闌角控制鏡(ALC)在探針電流增大時也能保持小束斑，兩者組合起來能提供200 nA 以上的探針電流,。強大的High Power Optics 系統(tǒng),，從高倍率圖像觀察到EDS分析和EBSD 解析可以一直使用高分辨率的小物鏡光闌而不需要改換。光闌角控制鏡(ACL)配置在物鏡的上方,，在整個探針電流范圍內(nèi)自動優(yōu)化物鏡光闌的角度,。因此，即使照射樣品的探針電流很大,，與傳統(tǒng)方式相比,，也能獲得很小的電子束斑。
  

　　JEOL JSM-7610FPlus 掃描電子顯微鏡規(guī)格：
 

　　1.二次電子像分辨率:0.8nm(加速電壓15kV),，1.0nm(加速電壓1kV ),分析時 3.0nm (加速電壓 15 kV, WD8mm, 探針電流5nA )
 

　　2.加速電壓:0.1～30kV
 

　　3.探針電流:數(shù)pA～200nA
 

　　4.電子槍:浸沒式肖特基場發(fā)射電子槍
 

　　5.透鏡系統(tǒng):聚光鏡,、光闌角控制鏡、半浸沒式物鏡
 

　　6.樣品臺:全對中測角樣品臺、5軸馬達驅動
 

　　7.電子檢測器系列:高位檢測器,、r‐過濾器內(nèi)置,、低位檢測器
 

　　8.自動功能:自動聚焦、自動消象散,、自動亮度/襯度調節(jié)
 

　　9.圖像觀察用:液晶顯示器
 

　　10.屏幕尺寸:23英寸寬屏